Последним барьером, который призван улавливать самые мелкие частицы пыли, является фильтр тонкой очистки. В передовых моделях современных пылесосов в качестве такого фильтра часто применяют Н.Е.Р.А.-фильтры. Читается название фильтра как «хепа» и представляет собой англоязычную аббревиатуру High Efficiency Particulate Absorbing, или в переводе «высокоэффективное удержание частиц».

ХЕПА фильтры были созданы в США во время Второй мировой войны для улавливания радиоактивных частиц на предприятиях, производивших ядерное оружие. Общий принцип устройства НЕРА-фильтров идентичен: это «гармошка» из волокнистого материала, задерживающая мельчайшую пыль благодаря микроскопическому диаметру волокон (0,65—6,5 микрон) и минимальному расстоянию между ними (10—40 микрон).

НЕРА-фильтрам присваиваются определенные классы в зависимости от эффективности задерживания ими микрочастицы пыли. К примеру на выходе из фильтра НЕРА10 в одном литре воздуха может находиться не более 50 000 частиц (счет обычно ведут по так называемым «наиболее проникающим» частицам размером 0,06 микрон), а на выходе из фильтра НЕРА14 — не более 5 частиц.